磁六极球差校正系统的计算与分析

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限制电子显微镜分辨本领的主要因素是电子透镜的球差,对一种实际的校正磁透镜的磁六极球差校正系统进行了计算和分析,计算结果表明利用该系统可以消除三级球差。
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