在表面以下获得的声表面波器件

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第一个低损耗声表面波延迟线问世的十年以来,涌现了一大批各种不同的声表面波器件.在过去的几年中,比较成熟的声表面波器件如延迟线和频率滤波器等已应用于各种系统,产生了很大的影响.起来声表面波带通器件的主要吸引力在于它们能用标准的微电子制作工艺来制造,而在甚高频/超高频下工作的器件性能很高、质量很好. A decade after the debut of the first low-loss SAW delay line, a number of different surface acoustic wave devices have emerged, and in the past few years more mature SAW devices such as delay lines and frequency filters Have had a significant impact on a variety of systems.The main attraction of SAW band-pass devices is that they can be fabricated using standard microelectronic fabrication processes and operating at VHF / UHF The device performance is high, the quality is very good.
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