大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tanchishe0000

【摘要】

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设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺．该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼，有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度，同时降低了陀螺的热机械噪声．

【作者】

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陈永焦继伟王惠泉金仲和张颖熊斌李昕欣王跃林

【机构】

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,浙江大学信电系

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

陀螺微机械加工噪声滑膜阻尼 gyroscopesilicon micromachiningnoiseslide-film damping

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设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺．该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼，有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度，同时降低了陀螺的热机械噪声．对陀螺噪声特性进行的分析表明，该陀螺具有相对很低的热噪声．制作了陀螺芯片，并测试了其机械性能和噪声特性．结果表明，该陀螺的噪声谱密度不超过60μV/√Hz，灵敏度为10mV／(°·s^-1)．该微机械陀螺有望实现较高的角速度分辨率．

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