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根据An－Ag系统以及An－Cu系统的扩散系数计算，提出了扩散阻挡层模型。利用这个模型对Au－Ag系统进行有关实验，得利了较好的验证。
基底元素表面富集与扩散阻档层
【摘 要】
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根据An－Ag系统以及An－Cu系统的扩散系数计算，提出了扩散阻挡层模型。利用这个模型对Au－Ag系统进行有关实验，得利了较好的验证。
【机 构】
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天津南开大学电子科学系,天津理化工程研究院
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1994年4期
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