【摘 要】
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在非球面检测中，为了消除衍射光学补偿器的位置偏差．在补偿器的外围设计、制作了位相型反射式菲涅耳波带板作为衍射光学校准器．利用微细加工手段，将补偿器和校准器整体集成在同一
【机 构】
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清华大学精密仪器分机械学系,北京理工大学光电学院,北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室
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在非球面检测中，为了消除衍射光学补偿器的位置偏差．在补偿器的外围设计、制作了位相型反射式菲涅耳波带板作为衍射光学校准器．利用微细加工手段，将补偿器和校准器整体集成在同一片基上．通过位相型反射式菲涅耳波带板的自校准功能，使其衍射光波与参考光波干涉，形成校准干涉条纹．测量时，调节校准干涉条纹成为最简单的形式，即可校正补偿器的离焦、偏心和倾斜误差，实现位置的精确校准．实验中，得到了近似零校准干涉条纹，有效地消除了补偿器的装调误差对测量的影响．
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