【摘 要】
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采用配有放电离子化检测器的气相色谱仪分析高纯四氟化碳中痕量气体杂质。研究了分析四氟化碳中氧气、氮气、一氧化碳、二氧化碳和六氟化硫等气体杂质的操作参数,确定了高纯
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采用配有放电离子化检测器的气相色谱仪分析高纯四氟化碳中痕量气体杂质。研究了分析四氟化碳中氧气、氮气、一氧化碳、二氧化碳和六氟化硫等气体杂质的操作参数,确定了高纯四氟化碳中痕量气体杂质的分析方法。
Analysis of Trace Gas Impurities in High Purity Carbon Tetrafluoride by Gas Chromatography with Discharge Ionization Detector. The operating parameters of gas impurities such as oxygen, nitrogen, carbon monoxide, carbon dioxide and sulfur hexafluoride in carbon tetrafluoride were analyzed, and the analytical method of trace impurities in high purity carbon tetrafluoride was determined.
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