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利用射溅射控溅射法制备掺铒硫化锌薄膜，用Ｘ射线衍射和Ｘ射线光电子能谱技术。研究薄膜微结构，发现薄膜中多晶沉积有择优取向趋势，掺杂的铒有表面集聚现象，这将对薄膜的发态产生影响。
溅射法制备ZnS：Er^3＋薄膜的微结构研究
【摘 要】
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利用射溅射控溅射法制备掺铒硫化锌薄膜，用Ｘ射线衍射和Ｘ射线光电子能谱技术。研究薄膜微结构，发现薄膜中多晶沉积有择优取向趋势，掺杂的铒有表面集聚现象，这将对薄膜的发态产生影响
【机 构】
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厦门大学物理学系
【出 处】
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厦门大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1997年5期
【基金项目】
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福建省自然科学基金
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