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补偿扩散硅压力传感器灵敏度温漂的新方法
补偿扩散硅压力传感器灵敏度温漂的新方法
来源 :自动化仪表 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ffdsfdsadsfafdsa
【摘 要】
:
首先分析了扩散硅压力传感器灵敏度温漂的影响,然后以恒压激励方式的典型补偿电路为例,通过推导,提出一种在桥路中串入电阻的补偿方法。经测试数据的比对,证明该补偿方法切实
【作 者】
:
胡贵池
范玉玲
【机 构】
:
中科院合肥智能机械研究所,中科院合肥智能机械研究所
【出 处】
:
自动化仪表
【发表日期】
:
1992年10期
【关键词】
:
压力传感器
灵敏度
补偿
温漂
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首先分析了扩散硅压力传感器灵敏度温漂的影响,然后以恒压激励方式的典型补偿电路为例,通过推导,提出一种在桥路中串入电阻的补偿方法。经测试数据的比对,证明该补偿方法切实可行,提高了传感器的性能。更多还原
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