【摘 要】
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本文提出一种在硅内进行磷扩散的新工艺模型。该模型是基于对两个扩散系数采用两个独立的高斯分布得到的磷分布曲线是吻合的这一概念以及该分布曲线的弯曲和尾状结构这一结果
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本文提出一种在硅内进行磷扩散的新工艺模型。该模型是基于对两个扩散系数采用两个独立的高斯分布得到的磷分布曲线是吻合的这一概念以及该分布曲线的弯曲和尾状结构这一结果之上的。
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