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本文探讨了一种可绝对测量光学平面面形误差的新方法,利用该方法可以消除或修正干涉仪测量光学平面面形误差时所存在的固有系统误差和参考光学平面本身的面形误差,同时也对干涉仪进行了绝对校准。
一种用于光学平面面形误差绝对测量的新方法
【摘 要】
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本文探讨了一种可绝对测量光学平面面形误差的新方法,利用该方法可以消除或修正干涉仪测量光学平面面形误差时所存在的固有系统误差和参考光学平面本身的面形误差,同时也对干
【机 构】
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西安应用光学研究所,西安应用光学研究所
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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1991年02期
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