【摘 要】
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采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆(Zr-Ti-N)复合薄膜材料,并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能.结果表明:随着Ti含量增加,Zr-Ti-N薄膜硬度有所提高;在Ti含量
【机 构】
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长荣大学会计信息系,成功大学机械工程系,建国科技大学机电光系统研究所,成功大学机械工程系 台湾台南归仁711,台湾台南701,台湾彰化500,台湾台南701
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采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆(Zr-Ti-N)复合薄膜材料,并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能.结果表明:随着Ti含量增加,Zr-Ti-N薄膜硬度有所提高;在Ti含量为18.7 at.%时,薄膜的硬度达到最大值2 483HK0.025;当添加16.5 at.%Ti时,硬度值略有降低,但临界载荷最高,耐磨性最佳.
The Zr-Ti-N composite films with different titanium content were prepared by unbalanced magnetron sputtering and their basic properties and friction and wear properties were studied.The results show that with the increase of Ti content, Zr- The hardness of Ti-N thin films increased slightly. At 18.7 at.% Ti, the hardness reached the maximum value of 2 483HK0.025. When 16.5 at.% Ti was added, the hardness decreased slightly but the critical load was the highest, Best wear resistance.
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