【摘 要】
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在微小型特别是硅谐振微传感器中，低信噪比的微弱信号检测，电路的小型化和抗干扰等问题十分突出。介绍了硅谐振压力微传感器闭环系统的基本工作原理，在成功研制出模拟闭环系统的
【机 构】
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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
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在微小型特别是硅谐振微传感器中，低信噪比的微弱信号检测，电路的小型化和抗干扰等问题十分突出。介绍了硅谐振压力微传感器闭环系统的基本工作原理，在成功研制出模拟闭环系统的基础上，为了克服模拟系统的不足，依据相关检测原理和频率扫描技术提出了基于FPGA的闭环系统设计框架，详细分析了该系统中的微弱信号检测技术和数字电路部分数字信号处理及接口技术，最后结合实际数据和开环测试曲线，指出可用的扫烦方法。
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