【摘 要】
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首先介绍了昆虫微机电混合系统领域的研究背景与研究动态,概述了昆虫微机电混合系统的原理及主要优势,分析了昆虫微机电混合系统的关键技术.由于昆虫微机电混合系统是生物领
【机 构】
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工业和信息化部电子科学技术情报研究所,北京,100040
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首先介绍了昆虫微机电混合系统领域的研究背景与研究动态,概述了昆虫微机电混合系统的原理及主要优势,分析了昆虫微机电混合系统的关键技术.由于昆虫微机电混合系统是生物领域与MEMS领域的交叉融合,所以其最终实现是一个复杂的过程,涉及接口可靠性、运动控制、无线收发、能源供给等一系列难题,详细从以上4个方面讨论了其工作原理与实现过程.最后,就其前景进行了分析,昆虫微机电混合系统对很多应用领域带来重大影响.
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