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在已有105g压阻效应阵列式加速度微传感器版图设计的基础上,应用有限元理论及相关软件,对版图中的硅微悬臂梁进行了模态分析和结构动态计算.将宏观理论应用到微观结构分析中;并对该种结构的加速度传感器的样品进行了冲击实验,得到实验曲线.对计算分析与实验结果进行了比较,指出并分析了误差可能出现的方面.
10^5g压阻效应阵列式加速度微传感器硅悬臂梁结构分析
【摘 要】
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在已有105g压阻效应阵列式加速度微传感器版图设计的基础上,应用有限元理论及相关软件,对版图中的硅微悬臂梁进行了模态分析和结构动态计算.将宏观理论应用到微观结构分析中;
【机 构】
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电子科技大学机电学院微机电系统研究室
【出 处】
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电子机械工程
【发表日期】
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2004年6期
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