【摘 要】
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为了研究性能稳定、纳米级精度、大量程的位移测量传感器,提出了一种基于交变电场耦合的纳米时栅位移传感器。根据纳米时栅试验系统要求,设计一套实验基座机构安装定尺,利用
【机 构】
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重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室
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为了研究性能稳定、纳米级精度、大量程的位移测量传感器,提出了一种基于交变电场耦合的纳米时栅位移传感器。根据纳米时栅试验系统要求,设计一套实验基座机构安装定尺,利用虚拟仪器试验平台,设计纳米时栅试验激励信号,利用精密气浮直线导轨系统的高精度,实现纳米时栅动尺的运动控制。试验表明:纳米时栅传感器在200 mm范围内误差为±300 nm.通过超精密试验系统的设计,为纳米时栅传感器特性的研究提供了保障。
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