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为了提高光学薄膜元件抗激光损伤的能力，除了寻找先进的镀膜方法及工艺外，还可采取后期处理，因为后期处理对激光损伤阈值（LIDT）也有重要影响。采用输出波长为1064nm的调QNd：YAG激光器，对膜厚为λ／2（λ=1064nm）的单层BaF2薄膜进行激光预处理，研究了其激光损伤特性。在光斑大小一定的条件下，改变能量密度和脉冲次数，分别研究了它们对薄膜阈值的影响，得出最佳处理参数：能量密度为9．9J／cm^2，脉冲次数为3次。处理后的BaF2薄膜，激光损伤阈值从未处理的16．5J／cm^2提高到了29．9J／