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本文介绍了硅锥阵列场致发射力敏传感器的基本原理和结构以及硅锥工艺,并对这种传感器的力敏相关参数的电特性进行了初步测试,获得了较为理想的结果。更多还原
硅锥场致发射力敏传感器的实验研究
【摘 要】
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本文介绍了硅锥阵列场致发射力敏传感器的基本原理和结构以及硅锥工艺,并对这种传感器的力敏相关参数的电特性进行了初步测试,获得了较为理想的结果。更多还原
【机 构】
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辽宁宽甸晶体管厂,西安交通大学教授
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1993年3期
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