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尝试采用离子注入法制备太阳选择性吸收膜层。利用多级离子注入后纵向浓度分布呈梯度分布的原理，对纯铝表面溅射啊膜后进行了3种方案的多级N离子注入。测试了样品的吸收率和发射率，对各方案制备的样品进行了性能比较，并用X射线衍射仪分析了物相组成，用俄歇扫描系统分析了纵向元素的分布，用弯折法测试了膜层结合力。结果发现，膜层吸收率均在0．94以上，但发射率普遍偏大。太阳选择吸收性最好的样品吸收率a为0．95、发射率ε为0．21，膜层中含有TiN0.76、TiN0.6O0.4、TiO、Al2Ti、Al3Ti等物相，氮元素