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声电荷输运技术是８０年代初出现的一种新型高频高速信号处理技术，是模拟信号处理领域的重要发展方向，文内报道了声电荷输运延迟线的设计考虑，器件结构和制作，讨论了所采用的一些关键工艺，给出了器件性能，声电荷输运延迟线样品具有１μｓ的延迟时间，声表面波频率为３５８ＭＨｚ。
声电荷输运延迟线
【摘 要】
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声电荷输运技术是８０年代初出现的一种新型高频高速信号处理技术，是模拟信号处理领域的重要发展方向，文内报道了声电荷输运延迟线的设计考虑，器件结构和制作，讨论了所采用的一些关键
【机 构】
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南京电子器件研究所,南京大学声学所
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1997年2期
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