论文部分内容阅读
为了精确检测大口径非球面面型质量,将CGH作为补偿器应用于凹非球面的离轴全息检测系统中。根据计算全息图的离轴全息检测系统检测凹非球面的基本原理,分析了离轴CGH的计算、制作过程,实现了对口径为150mm,近轴半径为1499.7mm,非球面系数为-1的凹非球面镜的检测。实验结果与轮廓仪检测结果吻合得很好。