Al2O3基板直接敷铜法的敷接机理研究

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：skoda0412

【摘要】

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本文采用直接敷铜工艺，1070°C流动氮气氛下保温3h制得剥离强度达11.5Kg/cm2的直接敷铜Al2O3基板.界面产物CuAlO2的形成是获得较高结合强度的关键.敷接温度下，在界面上产生了能

【作者】

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方志远周和平陈虎

【机构】

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清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室

【出处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

直接敷铜法剥离强度界面产物 direct bonded copper(DBC) peel strength interfacial product

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本文采用直接敷铜工艺，1070°C流动氮气氛下保温3h制得剥离强度达11.5Kg/cm2的直接敷铜Al2O3基板.界面产物CuAlO2的形成是获得较高结合强度的关键.敷接温度下，在界面上产生了能很好润湿Al2O3表面的Cu［O］共晶液体，并反应生成了连续的CuAlO2层.降温时,共晶液体从Cu侧开始固化并淀析出Cu2O颗粒.当固化前沿与CuAlO2层相遇时，液相参与的界面反应停止.冷却至室温，即可获得Cu和Al2O3基板之间的牢固结合.

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