10^-10Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：duanlingliang

【摘要】

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不改变商用SIP的基本结构,把NEG组件WP1250装入SIP,构成(SIP+NEG)的XHV复合泵.它使SIP和NEG的特点互补,综合性能优越.NEG激活前,SIP单独抽气,极限压强1.1×10-8Pa.NEG激

【作者】

：

蒋迪奎陈丽萍殷立新

【机构】

：

上海原子核研究所

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

溅射离子泵非蒸散型吸气剂复合泵真空泵 Sputtering ion pump (SIP) Non evaporative getter (NEG) (SI

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不改变商用SIP的基本结构,把NEG组件WP1250装入SIP,构成(SIP+NEG)的XHV复合泵.它使SIP和NEG的特点互补,综合性能优越.NEG激活前,SIP单独抽气,极限压强1.1×10-8Pa.NEG激活后,SIP和NEG联合抽气,复合泵的极限压强降到7×10-10Pa,抽速稳定的范围更广,标称抽速约是SIP抽速的2.5倍.

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