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邻近效应是指电子在抗蚀剂和基片中的散射引起图形的改变,它严重地影响了图形的分辨率。有多种方法对邻近效应进行修正和剂量调整、图形调整等。我们以JBX-5000LS为手段,用三种方法:1.图形尺寸修正,12大小图分类和剂量分配,3图形分层和大小电流混合曝光,对邻近效应进行了修正,均取得较好效果。