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期刊论文
GaAs高温栅全离子注入平面工艺及GaAs数字二分频器
GaAs高温栅全离子注入平面工艺及GaAs数字二分频器
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangfegnlin
【摘 要】
:
介绍了一种适用于砷化镓数字电路的Bp—SAG工艺。在该工艺基础上研制的GaAs数字二分频电路,最大工作频率达到2.25GHz,等效门延迟为92ps。
【作 者】
:
高建峰
王茂森
【机 构】
:
南京电子器件研究所,南京电子器件研究所210016,210016,210016
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1992年2期
【关键词】
:
高温栅
埋p自对准
分频器
数字式
Refractory Gate
Buried-p SAG Proces
Digital Divid-by-2 Divider
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介绍了一种适用于砷化镓数字电路的Bp—SAG工艺。在该工艺基础上研制的GaAs数字二分频电路,最大工作频率达到2.25GHz,等效门延迟为92ps。
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