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利用YAG脉冲激光器(脉宽为10 ns,波长为1.06 μm)对砷注入长波碲镉汞样品进行激光退火,分析不同能量密度的激光光束退火所引起的样品表面电学性质的变化.激光能量密度越大,激光退火的效果越明显.要达到理想的退火效果,样品表面需处于熔化状态,重新组织晶格结构.
激光与砷注入碲镉汞的相互作用
【摘 要】
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利用YAG脉冲激光器(脉宽为10 ns,波长为1.06 μm)对砷注入长波碲镉汞样品进行激光退火,分析不同能量密度的激光光束退火所引起的样品表面电学性质的变化.激光能量密度越大,激
【机 构】
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山东大学红外遥感研究室,山东,济南,250100
【出 处】
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山东大学学报（自然科学版）
【发表日期】
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2000年3期
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