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介绍了多组元气体、金属脉冲离子源的结构、工作原理和功能。给出该源的调试指标为：引出电压80kV；引出脉冲束流，Ti+为1.8A、N+为1.2A、Ti++N+为3.0A；脉冲宽度250μs；束斑面积22cm（380cm2）；均匀度为±20%。该源具有多功能、脉冲流强大、束斑大、高电荷态等特点。
多组元气体、金属脉冲离子源
【摘 要】
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介绍了多组元气体、金属脉冲离子源的结构、工作原理和功能。给出该源的调试指标为：引出电压80kV；引出脉冲束流，Ti+为1.8A、N+为1.2A、Ti++N+为3.0A；脉冲宽度250μs；束斑面积22c
【机 构】
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大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2001年1期
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