多组元气体、金属脉冲离子源

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介绍了多组元气体、金属脉冲离子源的结构、工作原理和功能。给出该源的调试指标为:引出电压80kV;引出脉冲束流,Ti+为1.8A、N+为1.2A、Ti++N+为3.0A;脉冲宽度250μs;束斑面积22cm(380cm2);均匀度为±20%。该源具有多功能、脉冲流强大、束斑大、高电荷态等特点。
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