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微机电系统是一种将微电子技术与机械工程有机结合在一起的工业技术,其能够在微米范围内实现操作。本文简要介绍了微机电系统内涵及其分类,结合当前最新研究动态,展望了微机电系统科学与技术的未来发展趋势,旨在为相关研究与实践提供参考。
微机电系统科学与技术发展趋势
【摘 要】
：
微机电系统是一种将微电子技术与机械工程有机结合在一起的工业技术,其能够在微米范围内实现操作。本文简要介绍了微机电系统内涵及其分类,结合当前最新研究动态,展望了微机
【机 构】
：
山东省桓台县第一中学
【出 处】
：
数字技术与应用
【发表日期】
：
2018年11期
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