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为控制氧径向均匀性，选择Φ３５０ｍｍ热场。增加晶转速度可以改善氧径向均匀性，但石英坩埚转速对氧径均匀性没有明显影响。
Φ125mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究
【摘 要】
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为控制氧径向均匀性，选择Φ３５０ｍｍ热场。增加晶转速度可以改善氧径向均匀性，但石英坩埚转速对氧径均匀性没有明显影响。
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1998年6期
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