一种离轴凸双曲面单修加工及检测方法的研究

来源 :光学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tyybj2008
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离轴凸双曲面的加工和检测是非球面加工检测中的一个比较困难的问题。结合一块口径φ230mm、离轴量226mm的凸双曲面镜,提出了离轴凸双曲面镜单修加工以及采用离轴Hindle球检测偏转角度的离轴凸双曲面镜这一方案。给出了单修加工工艺,并解决了检测光路的搭建难点。加工完成的离轴凸双曲面的面形精度RMS优于λ/50(λ=632.8nm)。结果表明此方案是可行的,具有重要的现实意义。 Off-axis convex hyperboloid processing and testing of aspheric surface processing is a more difficult problem. Combined with a convex hyperboloid of φ230mm and an off-axis amount of 226mm, an off-axis convex hyperboloid mirror with an off-axis convex hyperboloid and an off-axis convex hyperboloid mirror with an off-axis Hindle ball are proposed. Given a single repair process, and to solve the test light path to build difficult. The finished surface off-axis convex hyperboloid shape accuracy RMS better than λ / 50 (λ = 632.8nm). The results show that this scheme is feasible and has important practical significance.
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