【摘 要】
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三元合金SiGeC中处于替代位置的碳能缓解SiGe合金的应变,并同时调节其能带结构。碳的加入对锗硅材料中应变的缓解及合金能带合金能带结构的影响,尤其是弛豫状态下的锗硅材料及锗硅碳材料
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三元合金SiGeC中处于替代位置的碳能缓解SiGe合金的应变,并同时调节其能带结构。碳的加入对锗硅材料中应变的缓解及合金能带合金能带结构的影响,尤其是弛豫状态下的锗硅材料及锗硅碳材料的调节作用本文进行了总结,冻对其制备的方法机理做了分析。
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