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三元合金ＳｉＧｅＣ中处于替代位置的碳能缓解ＳｉＧｅ合金的应变，并同时调节其能带结构。碳的加入对锗硅材料中应变的缓解及合金能带合金能带结构的影响，尤其是弛豫状态下的锗硅材料及锗硅碳材料的调节作用本文进行了总结，冻对其制备的方法机理做了分析。
锗硅碳合金的制备及性能研究进展
【摘 要】
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三元合金ＳｉＧｅＣ中处于替代位置的碳能缓解ＳｉＧｅ合金的应变，并同时调节其能带结构。碳的加入对锗硅材料中应变的缓解及合金能带合金能带结构的影响，尤其是弛豫状态下的锗硅材料及锗硅碳材料
【机 构】
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浙江大学硅材料重点实验室
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1999年5期
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