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期刊论文
抛光型SLAM系统灵敏度研究
抛光型SLAM系统灵敏度研究
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vera17
【摘 要】
:
以片式电子材料元器件作为无损检测分析对象,以提高激光扫描声学显微镜(SLAM)系统灵敏度为目标,详细分析了入射声波在抛光型分层介质中的传播规律,建立了抛光型样品自由界面动
【作 者】
:
严真旭
温济
王亚非
袁敬闳
【机 构】
:
信息产业部军用电子元器件行业管理发展研究中心,电子科技大学光电信息学院
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
2007年3期
【关键词】
:
灵敏度
激光扫描声学显微镜
全内反射角
抛光
分层介质
sensitivity
scanning laser acoustic microscope (SLA
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以片式电子材料元器件作为无损检测分析对象,以提高激光扫描声学显微镜(SLAM)系统灵敏度为目标,详细分析了入射声波在抛光型分层介质中的传播规律,建立了抛光型样品自由界面动态波纹振幅数学模型。经综合分析获得了提高系统响应的方法,为进一步改进SLAM提供了理论依据。
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