一种新型的周期可调谐金属光栅的制备

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介绍了一种制备金属可调谐光栅的新技术。首先采用紫外光刻技术将光栅结构制备至PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底,并在其上蒸镀金属Cr层及Ag层,然后采取金属举离工艺得到金属光栅。利用PDMS高弹性的特点,通过机械拉伸PDMS纵、横向拉伸程度,对金属光栅周期进行连续调谐,获得预定的目标周期。实验结果表明,金属光栅调谐范围超过其初始周期的100%。
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