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基于库仑阻塞效应和量子尺寸效应工作的单电子晶体管(SET)由于具有超小器件尺寸、超低功耗、超低工作电流和超高工作频率等特点,受到人们的重视和深入研究.本文通过简要介绍SET的器件结构、原理和特性,分析了实现SET的关键因素,回顾和评述了SET制作技术的进展及前景.
单电子晶体管及其工艺制作技术
【摘 要】
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基于库仑阻塞效应和量子尺寸效应工作的单电子晶体管(SET)由于具有超小器件尺寸、超低功耗、超低工作电流和超高工作频率等特点,受到人们的重视和深入研究.本文通过简要介绍S
【机 构】
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天津大学电信工程学院微电子系
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2002年4期
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