【摘 要】
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选用敏感材料锆钛酸铅（PZT）,优化微机电系统（MEMS）微加工工艺,制作了硅基PZT压电薄膜叉指式电极结构的MEMS压力传感器。在基体Au/Ti/LNO/SiO2/Si〈100〉上,采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）
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选用敏感材料锆钛酸铅（PZT）,优化微机电系统（MEMS）微加工工艺,制作了硅基PZT压电薄膜叉指式电极结构的MEMS压力传感器。在基体Au/Ti/LNO/SiO2/Si〈100〉上,采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）法,在650℃高温下采用分层退火的方式进行退火,得到厚1.2μm的PZT压电薄膜。薄膜表面均匀,无裂纹。利用光刻工艺和低压溅射工艺得到平行叉指电极。制作完成PZT压电薄膜结构的微压力传感器,在弹性薄膜上施加压力,其电压输出性能较好,说明基于压电薄膜的叉指电极结构可行,为基于纳米纤维结构的微压力
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