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据报道，台积电6月11日表示，18寸晶圆会先在新竹12厂（Fab12）第6期导入研发试产线，最快2015、2016年在中科15厂第五期（P5）正式导入18寸晶圆厂的量产作业。台积电表示，由于18寸晶圆仍得看设备与大环境需求的配合，根据台积电技术蓝图，18寸晶圆最快要到2015年量产。
台积18寸晶圆最快2015年导入量产
【摘 要】
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据报道，台积电6月11日表示，18寸晶圆会先在新竹12厂（Fab12）第6期导入研发试产线，最快2015、2016年在中科15厂第五期（P5）正式导入18寸晶圆厂的量产作业。台积电表示，由于18寸晶圆仍得
【出 处】
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新材料产业
【发表日期】
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2012年7期
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