【摘 要】
：
极紫外多层膜利用各个界面反射光的相长干涉,在极紫外波段获得了高反射率,已成为极紫外光刻设备中反射式光学系统的核心元件.本文对近年来极紫外多层膜表征、设计和制备领域
【机 构】
：
长春理工大学 理学院,长春 130022
论文部分内容阅读
极紫外多层膜利用各个界面反射光的相长干涉,在极紫外波段获得了高反射率,已成为极紫外光刻设备中反射式光学系统的核心元件.本文对近年来极紫外多层膜表征、设计和制备领域的研究现状进行了介绍和分析.由于多层膜的光学性能易受膜层界面粗糙度、膜层扩散以及膜厚误差等因素的影响,文中重点对联合多检测技术的多层膜表征、膜系优化算法和膜层界面优化工程进行阐述.除此之外,本文针对联合多项检测技术表征以及鲁棒性膜系设计,讨论了多目标优化算法在极紫外多层膜技术中的应用潜力,展望了多层膜技术在软X射线波段及光谱裁剪等领域的应用.
其他文献
1894年(清光绪二十年·甲午)8月20日(农历七月二十日)出生于陕西省泾阳县西北乡安吴堡世家。谱名玉衡,小名陀曼,1910年报考清华时改名吴宓。字雨生,亦作雨僧,别号藤影荷声馆
本调查系《中国农村及少数民族地区神经系统疾病流行病学调查》的组成部分,采用国际统一的调查方法与表格,对渔区10957人进行了流行病学调查,结果共发现神经疾病患者523人,总
基于自主设计的螺栓连接振动试验装置,系统研究了横向交变载荷下TiCN/MoS2涂层螺栓分别与TiCN/MoS2涂层螺母和无涂层螺母配合时连接结构的松动行为,并利用体式显微镜(OM)、扫
在甘肃省一位收藏家里,笔者有机会见到一尊药王菩萨像,介绍了该像的造像形态、时代判断及题材判断，在中国佛教造像体系中，药王菩萨盛行于唐、宋、元、明各朝，数量不多。此尊玉雕
文章介绍了农业多功能理论，其表现在经济、生态环境、社会文化等三方面。现代农业能够促进农业生产发展，调整农村产业结构，提高农民收入，改善农民生活，保护农村生态环境，改善村容村
超宽带吸收是电磁吸收器追求的一个重要目标.本文设计了一种基于氮化钛和二氧化钛两种耐火材料的槽深渐变的光栅型光吸收器,采用有限元法分析了单元结构的周期、凹槽深度、凹
本文则从药师经与药王药上菩萨经出发，最主要实分为两种即:《七佛药师经》与《观药王药上菩萨》经。现知还有《药师宝忏》与云南阿吒力经籍中的科仪。对其中前人注意较少佛名
为了解我市围产儿中出生缺陷各病种（病例人次）发生率，探索致畸、致突的主要原因，开展预防优生监测。为优生法的制定提供科学依据，现将我市五所医院一年来分娩5658例围产儿中出生缺
本文主要介绍两座药师佛道场:江西樟树市药王山通慧寺和哈尔滨市天恒山卧龙寺。并主要以年代顺序对药师佛造像进行说明，释图片时对药师佛图片进行分类。药师佛造像继承药师佛
文章从历史悠久、地域辽阔、物产丰饶、资源富集、生态优越、景观独特六个方面阐述了神韵宝清，就其发展从经济发展态势强劲，招商引资效果显著，现代农业和新农村建设发展迅猛，社会