硅油基底Ni薄膜的生长机理及微观结构研究

来源 :浙江科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhanchuangye
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基于液相材料可用作薄膜生长基底的事实,采用真空热蒸发沉积方法,在硅油基底表面制备了具有近似自由支撑边界条件的镍(Ni)薄膜系统。在原子力显微镜(AFM)的观察下发现,镍分枝状凝聚体事实上是由尺寸为几十纳米且呈现高斯分布的原子颗粒组成,在一定的沉积速率下,其原子颗粒的平均直径随着薄膜名义厚度的增加而迅速减小 同时,还观察到了Ni薄膜的反常边缘效应,并对此现象做了一定的物理分析。
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