【摘 要】
：
因为金属硅化物具有低电阻以及高温稳定性,且可直接在多晶硅上沉积,当电阻减小时又能保持住基本的MOS电路多晶硅栅,所以在集成电路方面受到人们的高度重视[1].由于在大规模集
【机 构】
：
新兴铸管股份有限公司研究院,河北邯郸,056300
论文部分内容阅读
因为金属硅化物具有低电阻以及高温稳定性,且可直接在多晶硅上沉积,当电阻减小时又能保持住基本的MOS电路多晶硅栅,所以在集成电路方面受到人们的高度重视[1].由于在大规模集成电路(LSI)制作过程中要经受1000℃以上的高温处理,从而要求金属硅化物耐高温,而MoSi2是难熔金属硅化物的典型代表,具有高熔点、抗高温氧化性、低热膨胀系数及良好的电热传导性,因此在各种工业领域中得到广泛应用.国内对MoSi2块体材料已经作了较为系统的研究,但对MoSi2薄膜的研究报道却较少.因此本文利用磁控溅射技术,研究了在不同的溅射气压下MoSi2薄膜表面形貌、结构及内应力的变化,探讨了气压影响表面形貌、结构及内应力的作用机制.
其他文献
龙应台说:“上一百堂美学的课,不如让孩子自己在大自然里行走一天;教一百个钟点的建筑设计,不如让学生去触摸几个古老的城市;讲一百次文学写作的技巧,不如让写作者在市场里头
西瓜新品种“开优绿宝”是以开封1106×开封1027杂交选育而成的优质、高产、抗病、早熟西瓜杂优新品种。该品种全生育期98d,果实发育期29d。果实椭圆型,果皮绿色覆绿色网纹,
第一次作为嘉宾参与这样大型的全国作文教学研讨会,我只觉得世界太大,风景太多,目不暇接。作为一个学习者,我仔细聆听每一位做课嘉宾思想的声音,用心体会组织者每一步设计的
党报是党、政府和人民的喉舌,是党和政府联系人民群众的桥梁,同时也是人民群众的舆论工具。马克思曾称报纸是把个人和国家和整个世界联系起来的“有声纽带”。笔者以为,党报
近年来随着时代的发展,我国的经济与科技水平不断发展,由于社会的要求我国正在积极地进行着高速道路的建设,由于高速道路的建设是为了满足单位距离的快速交通,由于为了快速的
CPU AMD Sempron 2400+(盒) 550风扇 CPU自带内存 现代 256MB DDR 333 × 2 590主板 升技 NF7 559硬盘 西部数据 鱼子酱 80G 7200转2M 485显卡 小影霸G8575LE(64MB/128bit)
●芳烃油——G F27G F15、2号、4号橡胶芳烃油—、适用于天然橡胶、丁苯橡胶、顺丁橡胶及它的复合配方,相溶性好●石蜡油——300号、500号、2240号、SH-2石蜡基橡胶专用油—
Numerical simulation of castings mold filling process is the main and the most important aspect of the foundry CAE technology. But it is time-consuming; it may