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激光烧蚀Si表面的等离子体的电子温度与电子密度
激光烧蚀Si表面的等离子体的电子温度与电子密度
来源 :齐鲁师范学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:paullove0906
【摘 要】
:
本文研究在大气中用 Nd:YAG 激光烧蚀固体 Si 表面的等离子体。用光学多道分析仪测量了等离子体的时间分辨发射光谱,用 N(Ⅱ)的两条谱线的相对强度计算了激光等离子体的电子
【作 者】
:
郭向欣
苗勇
满宝元
王象泰
宋一中
【出 处】
:
齐鲁师范学院学报
【发表日期】
:
1998年4期
【关键词】
:
激光等离子体
电子温度
电子密度
等离子体发射光谱
光谱
STARK
展宽
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目
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本文研究在大气中用 Nd:YAG 激光烧蚀固体 Si 表面的等离子体。用光学多道分析仪测量了等离子体的时间分辨发射光谱,用 N(Ⅱ)的两条谱线的相对强度计算了激光等离子体的电子温度,根据 N(Ⅱ)3995谱线的 Stark 展宽计算了等离子体的电子密度。
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