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光技术在微机械中的应用
光技术在微机械中的应用
来源 :光机电信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lyxdaisy
【摘 要】
:
微机械的迅速发展是近六、七年的事情。它的发展是从应用单晶硅的微细加工技术做出的微马达和微齿轮开始的。为实现微机械,需要材料、测量控制、能源、通信、信息处理、设计、
【作 者】
:
崔承甲
【出 处】
:
光机电信息
【发表日期】
:
1995年6期
【关键词】
:
微机械
光技术
微细加工
微马达
微齿轮
LIGA工艺
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微机械的迅速发展是近六、七年的事情。它的发展是从应用单晶硅的微细加工技术做出的微马达和微齿轮开始的。为实现微机械,需要材料、测量控制、能源、通信、信息处理、设计、加工和装配等综合的技术开发。
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