法国激光远紫外投影光刻,光纤传感器简介—访法英、西德见闻之二

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本文着重介绍了法国汤姆逊公司激光远紫外投影光刻的试验工作和法国光学研究所在光纤传感器方面的研究工作。 This article focuses on the experimental work of the French Thomson laser far-UV projection lithography and the research work of the French Optical Institute in optical fiber sensors.
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