【摘 要】
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在常温和低温下对砷化镓单晶进行压痕实验,分析温度对砷化镓单晶片显微硬度及其裂纹产生和扩展的影响。结果表明:当试验载荷处在低于0.244N的小载荷区时,砷化镓单晶片的显微
【基金项目】
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国家自然科学基金(50605032);江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金(No.JSPM200705)资助项目
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在常温和低温下对砷化镓单晶进行压痕实验,分析温度对砷化镓单晶片显微硬度及其裂纹产生和扩展的影响。结果表明:当试验载荷处在低于0.244N的小载荷区时,砷化镓单晶片的显微硬度随着载荷的增加而增大;当载荷处在大于0.244N的高载荷区时,砷化镓单晶片的显微硬度则随载荷的增加而减小。同一载荷下,随着温度的升高,压痕过程中所产生的裂纹长度逐渐增长。在不同温度下,随着载荷的增加,砷化镓单晶片经历了从塑性变形到脆性断裂的转变。减小载荷和降低加工区温度,有利于减少或防止裂纹的产生,使砷化镓的加工处于塑性模态,从而有利于提高加工精度。
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