【摘 要】
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MEMS vacuum packaging is now the impedimeut of the MEMS appliance in some specified fields. The major problem of current packaging approach is that the packagin
【机 构】
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Institute of MicroSystems
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MEMS vacuum packaging is now the impedimeut of the MEMS appliance in some specified fields. The major problem of current packaging approach is that the packaging process cannot meet the requirement of the ultra low leak. But the process cannot be improved with the existing technology. We propose a novel approach for MEMS vacuum packaging which can remarkably lower the leak rate. This paper analyzed the vacuum maintaining time of the vacuum packaging and compared the current design and new packaging method.
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