用于地球物理勘探的MEMS加速度传感器

来源 :石油仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：foxmaj

【摘要】

：

传统速度检波器由于内在结构的限制 ,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求。美国I/O公司利用MEMS技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性 ,

【作者】

：

张宏乐曹金栋

【机构】

：

石油地球物理勘探局特种装备勘探处

【出处】

：

石油仪器

【发表日期】

：

2002年02期

【关键词】

：

MEMS技术加速度传感器频率响应地震勘探

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传统速度检波器由于内在结构的限制 ,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求。美国I/O公司利用MEMS技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性 ,可在检波器内部进行模 /数转换 ,实现检波器数字信号输出。文章对MEMS技术特点及发展现状、MEMS加速度传感器结构及主要技术性能做简要介绍 ,并给出了传统检波器与MEMS加速度传感器野外数据采集的具体实例

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