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以InCl3·4H2O 和SnCl2·2H2O 为原料、水为溶剂溶解作为前驱体溶液,采用微波管式炉加热联合超声波喷雾热解法制备得到ITO 粉体.实验研究了不同微波热解温度和添加无水乙醇对ITO 产品的微观形貌的影响,利用TG-DSC、XRD、SEM、EDS、TEM 对样品的结构特征和微观形貌进行了表征分析.研究结果表明,合适的前驱液浓度、适宜的温度和适当的添加剂是影响氧化铟锡（ITO）粉体形貌的关键因素.得到粒径较小、分散性好和形貌呈球形的超细粉体的最佳条件为温度650℃,浓度0.01