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采用Raman光谱对高Ge含量的锗硅合金中的应变驰豫进行研究,运用Mooney的两种方法对合金中Ge成分及应力进行了分析,并用HRXRD对其分析结果进行了验证.最后分析了热应变对Si1-xGex外延的影响.
高Ge成份SiGe合金弛豫及热应变的Raman光谱研究
【摘 要】
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采用Raman光谱对高Ge含量的锗硅合金中的应变驰豫进行研究,运用Mooney的两种方法对合金中Ge成分及应力进行了分析,并用HRXRD对其分析结果进行了验证.最后分析了热应变对Si1-x
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
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材料科学与工程学报
【发表日期】
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2005年1期
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