超声辅助技术制备微结构的原理与应用概述

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根据超声辅助技术在制备微结构中的最新应用成果,介绍了超声辅助的车削、铣削、磨削3种方法制备微结构的原理和应用,对3种制备方法的原理与应用进行分析和论述,最后还介绍了1种利用超声辅助刻划制备微结构的新方法。
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