【摘 要】
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<正> 1.测试纯水中细菌总数的意义纯水中细菌总数是纯水水质最主要的技术指标之一,水中细菌对很多产品的生产都具有危害作用。在显像管生产中,配制荧光物质的纯水内如含有较
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<正> 1.测试纯水中细菌总数的意义纯水中细菌总数是纯水水质最主要的技术指标之一,水中细菌对很多产品的生产都具有危害作用。在显像管生产中,配制荧光物质的纯水内如含有较多细菌,荧光粉层就会出现'条迹'或'漏光点'而使荧光屏成为废品,在半导体器件,特别是 LSI(大规模集成电路)和 VLSI(超大规模集成电路)生产中,清洗硅片的高纯水必须去除细菌,否则会严重影响生产成品率和产品质量,VLSI 生产对纯水中细菌的要求见表1。
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