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半导体材料研究和器件测试通常要测量样本的电阻率和霍尔电压.半导体材料的电阻率主要取决于体掺杂,在器件中,电阻率会影响电容、串联电阻和阈值电压.霍尔电压测量用来推导半导体类型(n还是p)、自由载流子密度和迁移率.
测量范德堡法电阻率和霍尔电压
【摘 要】
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半导体材料研究和器件测试通常要测量样本的电阻率和霍尔电压.半导体材料的电阻率主要取决于体掺杂,在器件中,电阻率会影响电容、串联电阻和阈值电压.霍尔电压测量用来推导半
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2020年10期
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