锗掺杂二氧化钛薄膜的溶胶凝胶法制备和性能研究

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二氧化钛是一种无毒、廉价、稳定的半导体材料,被广泛用作光电化学太阳能电池的电极材料,适当掺杂可以增强其光电性能。以钛酸丁酯和四正丁氧基锗烷为主要原料,采用溶胶-凝胶提拉涂膜法制备了Ge掺杂的TiO2薄膜。通过X射线衍射、扫描电镜、紫外-可见吸收光谱、电流-电压曲线等测试手段研究了薄膜的结晶性能、微观结构和光电性能随Ge掺杂量的变化规律。结果表明,Ge掺杂量x=0.10时,形成Ti1-xGexO2固溶体,x=0.15时,形成非晶态。掺锗后薄膜表面颗粒密度增大,薄膜比较致密。随着Ge掺杂量的增加,吸收光谱吸收边蓝移,光电化学性能也得到一定提高。在Ge掺杂量为0.05时,光电流达到最大值17A/m2。同时,研究了锗掺杂对光电流的影响。
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